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| 品牌 | 冠亞恒溫 | 冷卻方式 | 水冷式 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 10萬-50萬 | 產地類別 | 國產 |
| 儀器種類 | 一體式 | 應用領域 | 化工,電子/電池,航空航天,汽車及零部件,電氣 |
| 卡盤定制系統 | |||||||
| 卡盤類型 | GY-CP-8HCV | GY-CP-12HCV | GY-CP-SQ3434HCV | ||||
| 配套Chiller | GY-PCH-803 GY-PCH-803W | GY-PCH-805 GY-PCH-805W | GY-PCH-803 GY-PCH-803W | GY-PCH-805 GY-PCH-805W | GY-PCH-8010 GY-PCH-8010W | GY-PCH-8010 GY-PCH-8010W | |
| 溫度范圍 | -45℃-200℃ | -55℃-200℃ | -45℃-200℃ | -55℃-200℃ | -65℃-200℃ | -65℃-200℃ | |
| Chiller電源 | 380 VAC ± 10%，三相(可定制) | ||||||
| Chiller總功率 | 8.5kW | 12.5kW | 8.5kW | 12.5kW | 27.5kW | 27.5kW | |
| 配套控溫模組 | DX-CHUCK-3 | ||||||
| 溫度均勻性 | 土0.5℃ | ||||||
| Chuck加熱能力 | 1.5KW@DC48V | 2.5KW@DC120V | 3KW@DC48V | ||||
| Chuck表面處理 | 鍍鎳/鍍金 | ||||||
| 控溫方式 | 內置多個溫度傳感器，多區控溫，精確PID調節控溫 | ||||||
| 如有其他需求，可非標定制 | |||||||
三溫卡盤chiller是半導體制造與測試領域的高精度溫控設備，由無錫冠亞恒溫研發生產，專為晶圓三溫測試、光刻、刻蝕等工藝設計，通過三溫區獨立控溫與閉環制冷循環，實現晶圓表面差異化溫度準確調控，為芯片制造提供穩定溫度環境。
該設備由精密液冷機（chiller）、三溫卡盤（chuck）、干燥單元及控制柜組成完整閉環系統。chiller基于壓縮式制冷循環，通過制冷劑相變實現熱量轉移；三溫卡盤采用分區溫控設計，三個溫區獨立配置加熱與制冷模塊，搭配高精度PT100鉑電阻實時采集溫度數據，經自適應PID+模糊控制算法動態調節，確保各溫區準確達設定值。
1. 三溫區獨立調控：支持不同溫區差異化溫度設置，適配晶圓多區域工藝需求
2. 高精度控溫：控溫精度可達±0.5℃，溫場均勻性優異，減少溫度漂移影響
3. 全密閉循環：采用磁力驅動泵，無泄漏風險，內置過濾干燥系統保障介質潔凈
廣泛應用于半導體晶圓制造、集成電路測試、先進封裝等領域，尤其適用于芯片測試（FT）中的三溫測試環節，以及光刻膠涂布、CMP拋光等對溫度敏感的工藝，幫助提升芯片良品率與測試數據準確性。三溫卡盤chiller-探針臺高低溫控溫系統
無錫冠亞恒溫專注工業溫控設備研發生產，三溫卡盤chiller可根據客戶工藝需求定制，提供從方案設計到售后維護的全流程服務，助力半導體企業提升生產效率與產品質量。三溫卡盤chiller-探針臺高低溫控溫系統
