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| 品牌 | 冠亞恒溫 | 冷卻方式 | 水冷式 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 10萬-50萬 | 產地類別 | 國產 |
| 儀器種類 | 一體式 | 應用領域 | 化工,電子/電池,航空航天,汽車及零部件,電氣 |
| 卡盤定制系統 | |||||||
| 卡盤類型 | GY-CP-8HCV | GY-CP-12HCV | GY-CP-SQ3434HCV | ||||
| 配套Chiller | GY-PCH-803 GY-PCH-803W | GY-PCH-805 GY-PCH-805W | GY-PCH-803 GY-PCH-803W | GY-PCH-805 GY-PCH-805W | GY-PCH-8010 GY-PCH-8010W | GY-PCH-8010 GY-PCH-8010W | |
| 溫度范圍 | -45℃-200℃ | -55℃-200℃ | -45℃-200℃ | -55℃-200℃ | -65℃-200℃ | -65℃-200℃ | |
| Chiller電源 | 380 VAC ± 10%，三相(可定制) | ||||||
| Chiller總功率 | 8.5kW | 12.5kW | 8.5kW | 12.5kW | 27.5kW | 27.5kW | |
| 配套控溫模組 | DX-CHUCK-3 | ||||||
| 溫度均勻性 | 土0.5℃ | ||||||
| Chuck加熱能力 | 1.5KW@DC48V | 2.5KW@DC120V | 3KW@DC48V | ||||
| Chuck表面處理 | 鍍鎳/鍍金 | ||||||
| 控溫方式 | 內置多個溫度傳感器，多區控溫，精確PID調節控溫 | ||||||
| 如有其他需求，可非標定制 | |||||||
高功率溫度卡盤系統是半導體測試與微電子工藝領域的精密溫控承載設備，功能為晶圓/芯片提供穩定夾持與準確溫度控制，同時具備高功率散熱能力，適配高功耗器件測試與高發熱工藝場景。該系統由溫控卡盤、精密液冷單元、電氣控制模塊及輔助組件構成閉環溫控系統，是半導體功率器件測試、車規級芯片可靠性評估的關鍵裝備。
無錫冠亞恒溫高功率溫度卡盤系統采用主動熱控技術，通過內置分區換熱通道與多傳感協同監測，實現寬溫域準確調控。系統可在-60℃至+200℃范圍內穩定運行，支持8/12英寸晶圓規格，能在高功率工況下維持±0.5℃以內的溫度均勻性，滿足高功耗芯片測試的散熱需求。模塊化設計便于維護升級，適配不同測試平臺與工藝需求。高功率溫度卡盤系統-探針臺冷卻機chiller
1. 半導體測試：功率器件建模、晶圓級可靠性測試、射頻變溫測試，適配嵌入式處理器、DRAM、NAND等產品測試
2. 車規級驗證：芯片老化測試、溫度環境模擬
3. 特殊工藝：高發熱芯片封裝測試、功率模塊熱性能評估，解決局部熱點散熱難題
無錫冠亞恒溫專注工業溫控領域多年，高功率溫度卡盤系統具備以下特點：支持定制化分區控溫方案，適配不同芯片熱分布需求；液冷單元與卡盤準確匹配，提升散熱效率；匹配售后技術支持，保障設備穩定運行。該系統已廣泛應用于半導體、新能源、汽車電子等行業，為客戶提供可靠的溫控解決方案。高功率溫度卡盤系統-探針臺冷卻機chiller
