




| 品牌 | 冠亞恒溫 | 冷卻方式 | 水冷式 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 10萬-50萬 | 產地類別 | 國產 |
| 儀器種類 | 一體式 | 應用領域 | 化工,電子/電池,航空航天,汽車及零部件,電氣 |


| 卡盤定制系統 | |||||||
| 卡盤類型 | GY-CP-8HCV | GY-CP-12HCV | GY-CP-SQ3434HCV | ||||
| 配套Chiller | GY-PCH-803 GY-PCH-803W | GY-PCH-805 GY-PCH-805W | GY-PCH-803 GY-PCH-803W | GY-PCH-805 GY-PCH-805W | GY-PCH-8010 GY-PCH-8010W | GY-PCH-8010 GY-PCH-8010W | |
| 溫度范圍 | -45℃-200℃ | -55℃-200℃ | -45℃-200℃ | -55℃-200℃ | -65℃-200℃ | -65℃-200℃ | |
| Chiller電源 | 380 VAC ± 10%,三相(可定制) | ||||||
| Chiller總功率 | 8.5kW | 12.5kW | 8.5kW | 12.5kW | 27.5kW | 27.5kW | |
| 配套控溫模組 | DX-CHUCK-3 | ||||||
| 溫度均勻性 | 土0.5℃ | ||||||
| Chuck加熱能力 | 1.5KW@DC48V | 2.5KW@DC120V | 3KW@DC48V | ||||
| Chuck表面處理 | 鍍鎳/鍍金 | ||||||
| 控溫方式 | 內置多個溫度傳感器,多區控溫,精確PID調節控溫 | ||||||
| 如有其他需求,可非標定制 | |||||||

三溫Chuck探針臺卡盤是半導體測試領域的溫控承載設備,主要用于探針臺系統中固定晶圓并提供低溫、常溫、高溫三段式準確溫度控制,適配半導體芯片三溫測試需求,是保障芯片性能評估準確性的關鍵部件。
該設備通過真空吸附技術穩固固定晶圓,搭載獨立溫控模塊實現三個溫區的分區調控,配合高精度溫度傳感器與閉環控制技術,可準確模擬芯片實際工作溫度環境。無錫冠亞恒溫控溫范圍達-65℃~200℃,控溫精度±0.5℃,溫場均勻性良好,確保晶圓表面溫差小,避免測試數據失真。
廣泛應用于8/12英寸晶圓電學測試、車規級芯片可靠性評估、功率器件建模測試等場景。無錫冠亞恒溫產品具備以下特點:
1. 分區溫控設計,支持多溫區協同工作,適配復雜測試需求
2. 優化式真空吸附結構,吸附力均勻穩定,避免晶圓損傷
3. 兼容多種規格晶圓,無需更換配件即可快速切換測試需求
4. 運行數據可記錄導出,便于測試過程追溯與分析
作為專業三溫Chuck探針臺卡盤廠家,無錫冠亞恒溫憑借成熟溫控技術,為半導體測試提供穩定可靠的溫度控制解決方案,助力提升芯片測試效率與數據準確性。
