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| 品牌 | 冠亞恒溫 | 冷卻方式 | 水冷式 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 10萬-50萬 | 產地類別 | 國產 |
| 儀器種類 | 一體式 | 應用領域 | 化工,電子/電池,航空航天,汽車及零部件,電氣 |
| 卡盤定制系統 | |||||||
| 卡盤類型 | GY-CP-8HCV | GY-CP-12HCV | GY-CP-SQ3434HCV | ||||
| 配套Chiller | GY-PCH-803 GY-PCH-803W | GY-PCH-805 GY-PCH-805W | GY-PCH-803 GY-PCH-803W | GY-PCH-805 GY-PCH-805W | GY-PCH-8010 GY-PCH-8010W | GY-PCH-8010 GY-PCH-8010W | |
| 溫度范圍 | -45℃-200℃ | -55℃-200℃ | -45℃-200℃ | -55℃-200℃ | -65℃-200℃ | -65℃-200℃ | |
| Chiller電源 | 380 VAC ± 10%，三相(可定制) | ||||||
| Chiller總功率 | 8.5kW | 12.5kW | 8.5kW | 12.5kW | 27.5kW | 27.5kW | |
| 配套控溫模組 | DX-CHUCK-3 | ||||||
| 溫度均勻性 | 土0.5℃ | ||||||
| Chuck加熱能力 | 1.5KW@DC48V | 2.5KW@DC120V | 3KW@DC48V | ||||
| Chuck表面處理 | 鍍鎳/鍍金 | ||||||
| 控溫方式 | 內置多個溫度傳感器，多區控溫，精確PID調節控溫 | ||||||
| 如有其他需求，可非標定制 | |||||||
氣冷型高低溫卡盤系統是無錫冠亞恒溫推出的一款精密溫控設備，主要應用于半導體、電子等行業的晶圓及器件測試場景，通過空氣制冷與電加熱結合的方式，實現對被測工件的準確溫度控制與真空吸附定位。氣冷型高低溫卡盤系統-電子精密控溫chiller
該系統作為探針臺配套部件，具備以下特點：
· 采用空氣制冷技術，無需液體冷媒或帕爾貼元件，運行安靜且維護便捷，規避泄漏風險
· 溫度控制范圍覆蓋-65℃~+200℃（可定制），滿足各類變溫測試需求
· 內置多區溫度傳感器，支持高精度FID調節控溫，確保溫度均勻性與穩定性
· 提供8寸、12寸標準卡盤及非標定制，適配不同尺寸晶圓與測試需求
· 兼容真空吸附功能，保障測試過程中工件定位準確，提升數據一致性
廣泛應用于半導體晶圓變溫電學測試、功率器件建模、可靠性評估、射頻變溫測試等領域，尤其適合低噪音、高絕緣性要求的測試環境。無錫冠亞恒溫憑借多年溫控技術積累，該系統可與探針臺、ATE自動測試設備無縫集成，為用戶提供穩定可靠的溫控解決方案，助力提升測試效率與數據準確性。氣冷型高低溫卡盤系統-電子精密控溫chiller
