微型高低溫冷卻循環(huán)器常應(yīng)用于對半導(dǎo)體制造裝置發(fā)熱部的冷卻：單晶片洗凈轉(zhuǎn)載、印刷機(jī)、自動(dòng)夾座安裝裝置、噴涂裝置、離子鍍裝置、蝕刻裝置、單晶片處理裝置、切片機(jī)、包裝機(jī)、顯影劑的溫度管理、露光裝置、生磁部分的加熱裝置等。
微型高低溫冷卻循環(huán)器特點(diǎn)
風(fēng)冷式全封閉制冷壓縮機(jī),降溫速度快。
微機(jī)智能控制,溫度溫度。
數(shù)顯分辨率0.1℃或0.01℃，具有溫度測量值偏差修正功能。
溫度超溫保護(hù),自動(dòng)切斷電源并報(bào)警。
制冷系統(tǒng)過熱、過流自動(dòng)保護(hù)。
微型高低溫冷卻循環(huán)器使用前的準(zhǔn)備
1、次使用時(shí)，應(yīng)拿開上蓋，加入水或不凍液，加離頂蓋上口3CM為止。
2、把所有的冷卻循環(huán)泵，接入到實(shí)驗(yàn)所用的系統(tǒng)中，用保溫軟管接該設(shè)備進(jìn)出液口與實(shí)驗(yàn)儀器的進(jìn)出液口對應(yīng)連接好。此循環(huán)為密閉系統(tǒng)循環(huán)。
3、如果只用冷卻循環(huán)泵作業(yè)時(shí)，把循環(huán)液出進(jìn)、連接起來即可。
4、當(dāng)槽內(nèi)液體為可燃易爆時(shí),嚴(yán)禁開啟加熱。
5、控制35度以下時(shí),如控溫要求不高,只要打開制冷開關(guān),關(guān)閉加熱開關(guān),把參數(shù)降溫制冷回差dn設(shè)定為-0.2度,靠壓縮機(jī)起停來控溫。如控溫要求高,打開制冷開關(guān),加熱開關(guān),把參數(shù)降溫制冷回差dn設(shè)定為10度,壓縮機(jī)不停,靠加熱來控溫。
6、控制35度以上時(shí),只要打開加熱開關(guān),關(guān)閉制冷開關(guān)。
